超纯氩气在哪些技领域或工业生产中有重要应用？其具体应用是什么？
超纯氩气在多个高科技领域和工业生产中都有重要应用。
在半导体制造中，它用于等离子体刻蚀、氧化和退火等过程，保护高纯硅和锗晶体的生产。
在科研、超导实验等领域，高纯氩气因其低沸点和化学惰性而被用作超低温冷却剂和保护气体。
此外，在金属制造、高精度焊接、电子工业等特殊金属的冶炼中，超纯氩气也作为保护气体广泛应用，确保产品质量和工艺稳定性。
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超纯氩气的特性
超纯氩气是一种无色、无味、无毒的惰性气体，具有化学性质极不活泼的特点。其相对密度和液体密度均较高，沸点为-185.9℃，熔点为-189.2℃。
超纯氩气不易与其他物质发生化学反应，稳定性好，因此被广泛应用于需要惰性气体保护的场合，如半导体生产、焊接、冶金等领域。同时，高纯氩气还具有高热导率和低表面张力等物理特性。
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超纯氩气的制备方法
超纯氩气的制备方法主要包括深冷分馏法、合金吸气法和催化脱氧分子筛脱水结合合金吸气法。
深冷分馏法通过多级冷却和分离技术，从空气中提取超纯氩气，适用于大规模生产。
合金吸气法利用吸气剂吸收杂质，适用于高纯度要求的深度净化。
催化脱氧分子筛脱水结合合金吸气法则需要进行初级净化，再用吸气剂深度净化，适用于不同纯度等级的氩气制备。
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